存在許多清潔方法，每種方法都有自己的優(yōu)點和缺點。我們將討論基于水和溶劑的方法、超聲波、擦拭、高速吹氣、真空方法、激光、復(fù)制膠帶和氬氮低溫氣溶膠。選擇清潔方法時，更重要的方面是該方法能否根據(jù)您的需要清潔零件，而不會在要求的時間范圍內(nèi)損壞表面。其他因素包括資本和運營（勞動力和消耗品）成本、每個樣品的時間、安全性和清潔效率。必須注意，沒有一種方法是完美的，它們都有其局限性。供應(yīng)商必須對客戶誠實，如果他們沒有提及可能存在的問題，則應(yīng)避免使用這種清潔方法。精彩總結(jié)，

使用或不使用超聲波的水性和溶劑型清洗方法是分批方法，這意味著可以同時清洗一個或大量樣品。這與 CO 2雪清潔形成對比，后者是一種在線方法，這意味著每個噴嘴一次只能清潔一個樣品。這些濕法的明顯優(yōu)勢是批量生產(chǎn)，其局限性包括干燥、染色、潛在損壞和化學(xué)處理。每天清洗數(shù)百個 10 平方厘米光學(xué)玻璃樣品的制造商很可能會選擇超聲波，因為它的體積吞吐量很大，并且必須確保適當(dāng)?shù)母稍镆员苊馕蹪n和斑點。

用溶劑手動擦拭通常很快，并且在光學(xué)工業(yè)中很常見。限制是勞動力成本和干燥問題。然而，當(dāng)勞動力不是問題時，它是可以接受的并且可以去除顆粒和有機物。擦拭軟光學(xué)表面上的硬顆?？赡軙斐杀砻鎿p傷，用戶必須意識到這一限制。此外，可能會出現(xiàn)因干燥不當(dāng)造成的污漬。這個過程可以對每個零件進行快速處理，并且用戶可以在清洗后快速檢查每個樣品。 

用壓縮空氣或氮氣吹氣是很常見的，適用于大于幾微米的顆粒。每個樣品的成本非常低。主要問題是空氣壓縮機內(nèi)的油雜質(zhì)和缺乏有效過濾?？諝獯党贿m用于碳氫化合物或小于幾微米的顆粒。樣品幾何形狀也會帶來問題的研究清楚地表明了這一點。

真空方法包括等離子、輝光放電、濺射等。這些方法在許多基材上都非常有效，而且它們都需要真空系統(tǒng)。等離子可能是去除有機物最有效的方法，但潛在的底物氧化是一個問題。等離子體對無機物無效。用于有機物去除的紫外線臭氧可以在真空系統(tǒng)之外進行，但缺乏去除無機顆粒的能力。

氬氮低溫氣溶膠清潔與CO 2雪清潔 非常相似。首次報道并經(jīng)過多年發(fā)展。本質(zhì)上，這是一個類似的過程，因為低溫粒子瞄準(zhǔn)表面并依靠動量傳遞進行清潔。與 CO 2雪清潔相比，顆粒去除的結(jié)果應(yīng)該相似。

有一些基于復(fù)制品的清潔公司提供溶劑或水基溶液中的聚合物。清潔是有效的，但與大多數(shù)其他技術(shù)相比，干燥時間會使該過程變慢。每個樣品的成本也可能相當(dāng)高。正如  所說，存在問題：“涂層往往會粘在不規(guī)則的表面上，失去連貫性，并在剝離時碎裂。XPS 研究和目視檢查發(fā)現(xiàn)了殘留的聚合物。同樣，對于所有清潔方法，都需要在應(yīng)用前進行測試。

每個零件的成本是一個重要的考慮因素。大型自動清潔系統(tǒng)非常昂貴，不適合清潔偶爾的樣品，除非有特殊考慮證明成本合理。自動 CO 2雪清潔系統(tǒng)成本很高，它們的應(yīng)用一直針對高價值樣品，例如光掩模、后端晶圓處理和獨特的高價值部件（陀螺儀）。在這些情況下，設(shè)備成本是合理的，因為它們用于在線超聲波或溶劑，或任何自動清潔過程。激光顆粒去除系統(tǒng)也屬于這一類，因為必須考慮大量的資本支出。

其他 CO 2清潔方法包括液體和超臨界 CO2 清潔以及干冰顆粒噴射。液體CO 2清洗利用液體的優(yōu)良溶劑特性進行脫脂和清洗。添加表面活性劑或助溶劑使液態(tài) CO2 適用于紡織品干洗或金屬脫脂。去除無機顆粒是這里的一個弱點。系統(tǒng)可能很昂貴。超臨界 CO 2是指超過臨界溫度（305 K 或 32 °C）和壓力（74 bar 或 7.4 MPa）的CO 2 。在這里，CO 2 進入一個獨特的階段，結(jié)合了液體和氣體的最佳特性。超臨界 CO2 具有驚人的溶劑特性和具有零表面能的氣體的滲透特性?；瘜W(xué)和生物化學(xué)中的應(yīng)用比比皆是，還有一些半導(dǎo)體應(yīng)用。主要限制是無法去除顆粒，并且高溫和高壓要求使系統(tǒng)更加復(fù)雜和昂貴。干冰顆粒爆破使用壓縮空氣來加速干冰的宏觀顆粒。干冰的沖擊能量遠高于雪，并且可以在許多 CO 2雪缺乏沖擊能量的工業(yè)應(yīng)用中去除總體污染。對壓縮空氣的需求使這些系統(tǒng)更加昂貴。

總體而言，所有清潔方法都有其優(yōu)點和缺點，用戶應(yīng)該期望供應(yīng)商對這些限制誠實。